次世代LSI製造にむけたX線マスク描画機用高加速電子銃の開発

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著者

    • 島津 信生
    • 日本電信電話(株) システムエレクトロニクス研究所

収録刊行物

  • Isotope news  

    Isotope news 509, 10-12, 1996-10 

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002586386
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00002400
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    NOT
  • ISSN
    02855518
  • データ提供元
    CJP書誌 
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