ポリマー類の耐酸化エッチング加工のためのプラズマ重合被覆処理

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収録刊行物

  • Isotope news

    Isotope news 527, 12-13, 1998-04-01

参考文献:  2件中 1-2件 を表示

  • <no title>

    日本学術振興会第153委員会編

    プラズマ材料科学ハンドブック, 1992

    被引用文献2件

  • <no title>

    HIROTSU T.

    J Appl Polym Sci 66, 1049, 1997

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002586851
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00002400
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    02855518
  • データ提供元
    CJP書誌 
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