スリット・プローブを用いた赤外ニア・フィールド顕微分光法 Infrared Near-field Micro-spectroscopy Using a Scanning Slit Probe

この論文にアクセスする

この論文をさがす

著者

    • 河田 聡 KAWATA Satoshi
    • 大阪大学大学院工学研究科応用物理学専攻 Department of Applied Physics, Graduate School of Engineering, Osaka University
    • 高岡 秀行 TAKAOKA Hideyuki
    • 大阪大学大学院工学研究科応用物理学専攻 Department of Applied Physics, Graduate School of Engineering, Osaka University
    • 古川 祐光 FURUKAWA Hiromitsu
    • 大阪大学大学院工学研究科応用物理学専攻 Department of Applied Physics, Graduate School of Engineering, Osaka University

抄録

We developed a near-field scanning optical microscope (NSOM) giving infrared spectra in an area smaller than the diffraction limit of the infrared light. The developed NSOM features a probe which is equipped with a slit aperture to improve the efficiency in collecting the near-field light. The illumination light is generated with a Michelson interferometer as an interference light and the transmission spectrum of sample at the local position is given through the slit of probe. The experimental results with a test chart and a two-layered film show that the spatial resolution of the IR-NSOM developed depends only on the slit width and not on the wavelength of the illumination light. The spatial resolution of the microscope has been numerically analyzed with finite-difference time-domain (FD-TD) method.

収録刊行物

  • 分光研究 = Journal of the spectroscopical research of Japan

    分光研究 = Journal of the spectroscopical research of Japan 45(2), 93-99, 1996-04-15

    The Spectroscopical Society of Japan

参考文献:  9件中 1-9件 を表示

  • <no title>

    NAKANO T.

    Optik 94, 159, 1993

    被引用文献3件

  • <no title>

    中野隆志

    分光研究 41, 377, 1992

    被引用文献3件

  • <no title>

    NAKANO T.

    Scanning 16, 368, 1994

    被引用文献4件

  • <no title>

    河田聡

    光学 21, 766, 1992

    被引用文献10件

  • <no title>

    INOUYE Y.

    Opt. Lett. 19, 159, 1994

    被引用文献26件

  • <no title>

    KAWATA S.

    Ultramicroscopy 57, 313, 1995

    被引用文献4件

  • <no title>

    INOUYE Y.

    J. Microsc. 178, 14, 1995

    被引用文献3件

  • <no title>

    KAWATA S.

    Jpn. J. Appl. Phys. 33, L1725, 1994

    被引用文献8件

  • <no title>

    TUMOLILLO T. A.

    IEEE Trans. Nucl. Sci. NS-24, 2449, 1977

    DOI 被引用文献1件

被引用文献:  1件中 1-1件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002588918
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00222531
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    00387002
  • NDL 記事登録ID
    3945960
  • NDL 雑誌分類
    ZM35(科学技術--物理学)
  • NDL 請求記号
    Z15-1
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
ページトップへ