スリット・プローブを用いた赤外ニア・フィールド顕微分光法 Infrared Near-field Micro-spectroscopy Using a Scanning Slit Probe

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著者

    • 河田 聡 KAWATA Satoshi
    • 大阪大学大学院工学研究科応用物理学専攻 Department of Applied Physics, Graduate School of Engineering, Osaka University
    • 高岡 秀行 TAKAOKA Hideyuki
    • 大阪大学大学院工学研究科応用物理学専攻 Department of Applied Physics, Graduate School of Engineering, Osaka University
    • 古川 祐光 FURUKAWA Hiromitsu
    • 大阪大学大学院工学研究科応用物理学専攻 Department of Applied Physics, Graduate School of Engineering, Osaka University

抄録

We developed a near-field scanning optical microscope (NSOM) giving infrared spectra in an area smaller than the diffraction limit of the infrared light. The developed NSOM features a probe which is equipped with a slit aperture to improve the efficiency in collecting the near-field light. The illumination light is generated with a Michelson interferometer as an interference light and the transmission spectrum of sample at the local position is given through the slit of probe. The experimental results with a test chart and a two-layered film show that the spatial resolution of the IR-NSOM developed depends only on the slit width and not on the wavelength of the illumination light. The spatial resolution of the microscope has been numerically analyzed with finite-difference time-domain (FD-TD) method.

収録刊行物

  • 分光研究 = Journal of the spectroscopical research of Japan  

    分光研究 = Journal of the spectroscopical research of Japan 45(2), 93-99, 1996-04-15 

    The Spectroscopical Society of Japan

参考文献:  9件

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被引用文献:  1件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002588918
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00222531
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    00387002
  • NDL 記事登録ID
    3945960
  • NDL 雑誌分類
    ZM35(科学技術--物理学)
  • NDL 請求記号
    Z15-1
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
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