スリット・プローブを用いた赤外ニア・フィールド顕微分光法

• 河田 聡

  大阪大学大学院工学研究科応用物理学専攻

• 高岡 秀行

  オリンパス光学工業 (株)

• 古川 祐光

  大阪大学大学院工学研究科応用物理学専攻

書誌事項

タイトル別名

• Infrared Near-field Micro-spectroscopy Using a Scanning Slit Probe.
• スリット プローブ オ モチイタ セキガイ ニア フィールド ケンビ ブンコウ

抄録

We developed a near-field scanning optical microscope (NSOM) giving infrared spectra in an area smaller than the diffraction limit of the infrared light. The developed NSOM features a probe which is equipped with a slit aperture to improve the efficiency in collecting the near-field light. The illumination light is generated with a Michelson interferometer as an interference light and the transmission spectrum of sample at the local position is given through the slit of probe. The experimental results with a test chart and a two-layered film show that the spatial resolution of the IR-NSOM developed depends only on the slit width and not on the wavelength of the illumination light. The spatial resolution of the microscope has been numerically analyzed with finite-difference time-domain (FD-TD) method.

収録刊行物

• 分光研究

  分光研究 45 (2), 93-99, 1996

  社団法人 日本分光学会

詳細情報

• CRID: 1390282681234759552
• NII論文ID: 10002588918
• NII論文ID: 10004630397
• NII論文ID: 10003110271
• NII書誌ID: AN00222531
• DOI: 10.5111/bunkou.45.93
• ISSN: 18846785
• ISSN: 00387002
• ISSN: http://id.crossref.org/issn/00387002
• NDL書誌ID: 3945960
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3945960
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可