エネルギーフィルター電子顕微鏡法の原理と応用 Principle of energy-filtering transmission electron microscopy and its applications

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抄録

Energy-filtering transmission electron microscopy (EFTEM) is widely used to make images and diffraction patterns more quantitative by removing the inelastic background, and to perform elemental and chemical mapping at high spatial resolution.The principal factors restricting the spatial resolution in elemental maps are discussed. The relativistic effect on inelastic scattering cross-section, which becomes significant for high-voltage EFTEM analysis, is also discussed in relation to the detection efficiency of core-loss signals.

収録刊行物

  • 日本結晶学会誌  

    日本結晶学会誌 39(6), 416-425, 1997-12-31 

    The Crystallographic Society of Japan

参考文献:  24件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002590047
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00188364
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    03694585
  • NDL 記事登録ID
    4390636
  • NDL 雑誌分類
    ZM46(科学技術--地球科学--岩石・鉱物・鉱床)
  • NDL 請求記号
    Z15-138
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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