Hysteresis Curve Variations of MOS Capacitors Passivated by Ba(PO_3)_2-Al(PO_3)_3-B_2O_3 Glasses

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抄録

The purpose of this work is to clarify the relationship between some of the properties of MOS (metal, oxide, silicon) capacitors passivated by Ba(PO<SUB>3</SUB>)<SUB>2</SUB>-Al(PO<SUB>3</SUB>)<SUB>3</SUB>-B<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB> glasses and the hydroxyl contents of the glasses. When substitution of Al(PO<SUB>3</SUB>)<SUB>3</SUB> for Ba(PO<SUB>3</SUB>)<SUB>2</SUB> progressively decreased the OH<SUP>−</SUP> absorption intensity, the C-V (capacitance-voltage) curve shift, ΔV<SUB>G</SUB> in the MOS capacitors decreased.

収録刊行物

  • Chemistry letters  

    Chemistry letters 1996(8), 585-586, 1996-08 

    The Chemical Society of Japan

参考文献:  15件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002604775
  • NII書誌ID(NCID)
    AA00603318
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    03667022
  • データ提供元
    CJP書誌  J-STAGE 
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