The ESR Investigation of Brownish Ring at the Surface of Quartz Crucible Used for Cz-Si Crystal Growth

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著者

    • WATANABE Kohji
    • Nippon Steel Corporation, Advanced Technology Research Laboratories
    • TANAKA Koki
    • Nippon Steel Corporation, Advanced Technology Research Laboratories
    • HASEBE Masami
    • Nippon Steel Corporation, Advanced Technology Research Laboratories

収録刊行物

  • Chemistry letters  

    Chemistry letters 1996(8), 627-628, 1996-08 

参考文献:  8件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002605020
  • NII書誌ID(NCID)
    AA00603318
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    03667022
  • データ提供元
    CJP書誌 
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