A Negative-Working Alkaline Developable Photoresist Based on Calix[4]resorcinarene, a Cross-linker, and a Photoacid Generator

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著者

    • NAKAYAMA Tomonari
    • Department of Human Sensing and Functional Sensor Engineering. Graduate School of Engineering, Yamagata University
    • HAGA Kohji
    • Department of Human Sensing and Functional Sensor Engineering. Graduate School of Engineering, Yamagata University
    • HABA Osamu
    • Department of Human Sensing and Functional Sensor Engineering. Graduate School of Engineering, Yamagata University
    • UEDA Mitsuru
    • Department of Human Sensing and Functional Sensor Engineering. Graduate School of Engineering, Yamagata University

収録刊行物

  • Chemistry letters  

    Chemistry letters 1997(3), 265-266, 1997-03 

参考文献:  7件

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被引用文献:  1件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002610500
  • NII書誌ID(NCID)
    AA00603318
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    03667022
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用 
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