情報理論の電子光学系への応用 -SEMの分解能, 焦点深度の新しい評価法- Application of information theory to electron optics -A new evaluation method for SEM resolution and depth of field in SEM images-

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収録刊行物

  • 電子顕微鏡  

    電子顕微鏡 29(2), 124-129, 1994-11-30 

    日本電子顕微鏡学会

参考文献:  10件

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被引用文献:  2件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002640268
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00145000
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    04170326
  • NDL 記事登録ID
    3904984
  • NDL 刊行物分類
    ND62(電子工学--電子応用機器--電子顕微鏡)
  • NDL 雑誌分類
    ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
  • NDL 請求記号
    Z16-896
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL 
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