電子ビーム計測--超LSI微細形状の計測

• 中前 幸治

• 藤岡 弘

Bibliographic Information

Other Title

• デンシ ビーム ケイソク チョウ LSI ビサイ ケイジョウ ノ ケイソク

Journal

• 電子顕微鏡 / 「電子顕微鏡」編集委員会 編

  電子顕微鏡 / 「電子顕微鏡」編集委員会 編 31 (1), 56-58, 1996

  東京 : 日本顕微鏡学会

Details

• CRID: 1520853835212740608
• NII Article ID: 10002640727
• NII Book ID: AN00153086
• ISSN: 04170326
• NDL BIB ID: 4012029
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4012029
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles