ＳＰＭとＳＥＭ／ＴＥＭとの複合化装置

• 岩槻 正志

  日本電子(株)電子光学機器技術本部研究開発部

書誌事項

タイトル別名

• SEM/TEM-combined SPM.
• SPM ト SEM TEM ト ノ フクゴウカ ソウチ

収録刊行物

• 電子顕微鏡

  電子顕微鏡 31 (2/3), 68-73, 1996

  公益社団法人　日本顕微鏡学会

詳細情報

• CRID: 1390001204735791360
• NII論文ID: 10002640763
• NII書誌ID: AN00153086
• DOI: 10.11410/kenbikyo1950.31.68
• NDL書誌ID: 4096093
• ISSN: 04170326
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4096093
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles