超高圧電子顕微鏡法によるLSIアルミニウム配線のマイグレーションの研究 Study of migration in LSI Al interconnects by ulstahigh voltage electron microscopy

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収録刊行物

  • 電子顕微鏡

    電子顕微鏡 32(1), 11-16, 1997-03-31

    日本電子顕微鏡学会

参考文献:  15件中 1-15件 を表示

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    DOI 被引用文献2件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002641112
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00145000
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    04170326
  • NDL 記事登録ID
    4193657
  • NDL 雑誌分類
    ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
  • NDL 請求記号
    Z16-896
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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