集束イオンビーム装置

  • 石谷 亨
    日立製作所計測器事業部ビームテクノロジーセンター

書誌事項

タイトル別名
  • Focused-ion-beam system.
  • シュウソク イオン ビーム ソウチ

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収録刊行物

  • 電子顕微鏡

    電子顕微鏡 32 (1), 28-32, 1997

    公益社団法人 日本顕微鏡学会

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参考文献 (24)*注記

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