集束イオンビームによる断面TEM試料作製 Cross-sectional TEM sample preparation by FIB

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著者

収録刊行物

  • 電子顕微鏡  

    電子顕微鏡 32(1), 33-38, 1997-03-31 

    日本電子顕微鏡学会

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被引用文献:  1件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002641188
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00145000
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    04170326
  • NDL 記事登録ID
    4193661
  • NDL 雑誌分類
    ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
  • NDL 請求記号
    Z16-896
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL 
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