集束イオンビームによる断面TEM試料作製

• 高井 義造

• 多留谷 政良

• 志水 隆一

書誌事項

タイトル別名

• シュウソク イオン ビーム ニヨル ダンメン TEM シリョウ サクセイ

収録刊行物

• 電子顕微鏡 / 「電子顕微鏡」編集委員会 編

  電子顕微鏡 / 「電子顕微鏡」編集委員会 編 32 (1), 33-38, 1997-03

  東京 : 日本顕微鏡学会

詳細情報

• CRID: 1520009410309103232
• NII論文ID: 10002641188
• NII書誌ID: AN00153086
• ISSN: 04170326
• NDL書誌ID: 4193661
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4193661
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles