ＵＬＳＩ微細構造観察への超高圧電子顕微鏡の応用

• 朴 慶浩

  日本テキサス・インスツルメンツ(株)メモリー研究開発センター

• 保田 英洋

  大阪大学超高圧電子顕微鏡センター

書誌事項

タイトル別名

• Application of Ultrahigh Voltage Electron Microscope Analysis on the fine structure of ULSI.
• ULSI ビサイ コウゾウ カンサツ エ ノ チョウコウアツ デンシ ケンビキ

収録刊行物

• 電子顕微鏡

  電子顕微鏡 32 (3), 170-172, 1997

  公益社団法人　日本顕微鏡学会

キーワード

• 半導体デバイス
• 超高圧電顕

詳細情報

• CRID: 1390282679710675840
• NII論文ID: 130003441966
• NII論文ID: 10002641620
• NII書誌ID: AN00153086
• DOI: 10.11410/kenbikyo1950.32.170
• NDL書誌ID: 4366324
• ISSN: 04170326
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4366324
• Web Site: https://search.jamas.or.jp/link/ui/1998114980
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles