化合物半導体デバイス評価における電子顕微鏡法の寄与

• 上田 修

Bibliographic Information

Other Title

• カゴウブツ ハンドウタイ デバイス ヒョウカ ニ オケル デンシ ケンビキョウ

Journal

• 電子顕微鏡 / 「電子顕微鏡」編集委員会 編

  電子顕微鏡 / 「電子顕微鏡」編集委員会 編 33 (2), 68-74, 1998-07

  東京 : 日本顕微鏡学会

Details

• CRID: 1520572360224156928
• NII Article ID: 10002641844
• NII Book ID: AN00153086
• ISSN: 04170326
• NDL BIB ID: 4535023
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4535023
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles