The observation technique with TEM for grown-in defects in CZ-Si.
-
- Ueki Takemi
- NTTエレクトロニクス(株)
-
- Takeda Tadao
- NTTシステムエレクトロニクス研究所
Bibliographic Information
- Other Title
-
- CZ‐Si中Grown‐in欠陥の透過型電子顕微鏡による観察技術
- CZ-Si チュウ Grown-in ケッカン ノ トウカガタ デンシ ケンビキョウ ニ ヨル カンサツ ギジュツ
Search this article
Journal
-
- Denshi kenbikyo
-
Denshi kenbikyo 34 (1), 61-64, 1999
The Japanese Society of Microscopy
- Tweet
Keywords
Details
-
- CRID
- 1390282679710702464
-
- NII Article ID
- 10002642556
-
- NII Book ID
- AN00153086
-
- NDL BIB ID
- 4694099
-
- ISSN
- 04170326
-
- Text Lang
- ja
-
- Data Source
-
- JaLC
- NDL
- CiNii Articles