The observation technique with TEM for grown-in defects in CZ-Si.

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  • CZ‐Si中Grown‐in欠陥の透過型電子顕微鏡による観察技術
  • CZ-Si チュウ Grown-in ケッカン ノ トウカガタ デンシ ケンビキョウ ニ ヨル カンサツ ギジュツ

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  • Denshi kenbikyo

    Denshi kenbikyo 34 (1), 61-64, 1999

    The Japanese Society of Microscopy

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