CoCrスパッタ膜の作製法と酸エッチングモード

• 原田 紀子

  秋田高技研

• 本多 直樹

  秋田高技研

• 大内 一弘

  秋田高技研

書誌事項

タイトル別名

• Sputter-deposition condition and acid etching mode in Co-Cr films

収録刊行物

• 日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan

  日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan 19 9-, 1995-09-01

詳細情報

• CRID: 1574231873810299264
• NII論文ID: 10002645913
• NII書誌ID: AN10269644
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles