スパッタ法による超高密度DLC薄膜の作製 Deposition of High Density Diamond-like Carbon Films by Sputtering

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  • 日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan

    日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan 19, 325-a325-b, 1995-09-01

参考文献:  1件中 1-1件 を表示

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    CUOMO J. J.

    J. Vac. Sci. Technol. A 9, 2210, 1991

    DOI 被引用文献3件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002646752
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10269644
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • データ提供元
    CJP書誌 
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