スパッタ法による超高密度DLC薄膜の作製

• 星 陽一

  東京工芸大, 工学部

• 鈴木 英佐

  東京工芸大, 工学部

書誌事項

タイトル別名

• Deposition of High Density Diamond-like Carbon Films by Sputtering

収録刊行物

• 日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan

  日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan 19 325-a325-b, 1995-09-01

詳細情報

• CRID: 1574231873810326656
• NII論文ID: 10002646752
• NII書誌ID: AN10269644
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles