円筒型PEターゲットの磁界分布とプラズマ分布

• 長坂 恵一

  東北大学電気通信研究所

• 渡辺 功

  東北大学電気通信研究所

• 村岡 裕明

  東北大学電気通信研究所

• 中村 慶久

  東北大学電気通信研究所

書誌事項

タイトル別名

• Magnetic Field and Plasma Distribution in the PE Sputtering Target

収録刊行物

• 日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan

  日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan 19 401-, 1995-09-01

詳細情報

• CRID: 1573950398833749120
• NII論文ID: 10002646969
• NII書誌ID: AN10269644
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles