基板表面の清浄性と薄膜媒体の構造・磁気特性との相関(清浄雰囲気中での基板のドライエッチング) Effect of substrate surface cleanness on magnetic properties(Dry-etching treatment in ultra clean sputtering process)

この論文をさがす

著者

収録刊行物

  • 日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan  

    日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan 19, 407, 1995-09-01 

参考文献:  1件

参考文献を見るにはログインが必要です。ユーザIDをお持ちでない方は新規登録してください。

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002646991
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10269644
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • データ提供元
    CJP書誌 
ページトップへ