Fe-Ta-N膜の膜応力に及ぼす基板加熱効果 Substrate heating effect on film stress of Fe-Ta-N films

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  • 日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan

    日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan 19, 508, 1995-09-01

参考文献:  3件中 1-3件 を表示

  • <no title>

    名古

    日本応用磁気学会誌 18, 99, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    太田恵造

    磁気工学の基礎

    被引用文献3件

  • <no title>

    石綿延行

    日本応用磁気学会誌 18, 744, 1994

    被引用文献4件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002647237
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10269644
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • データ提供元
    CJP書誌 
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