Fe-Ta-N膜の膜応力に及ぼす基板加熱効果

• 細井 克昌

  日本ビクター(株)

• 大浦 秀男

  日本ビクター(株)

• 柳 邦雄

  日本ビクター(株)

書誌事項

タイトル別名

• Substrate heating effect on film stress of Fe-Ta-N films

収録刊行物

• 日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan

  日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan 19 508-, 1995-09-01

詳細情報

• CRID: 1571417124043225600
• NII論文ID: 10002647237
• NII書誌ID: AN10269644
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles