VLSI製造のためのCVD装置設計とシミュレーション

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収録刊行物

  • ペトロテック = Petrotech

    ペトロテック = Petrotech 20(10), 829-835, 1997-10

    石油学会

参考文献:  9件中 1-9件 を表示

  • Transport Phenomena inchemical Vapor-Deposition Systems

    MAHAJAN R. P.

    Advances in Heat Transfer 28, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    湯浅

    化学工学論文集 17(2), 362, 1991

    被引用文献1件

  • <no title>

    MOFFAT H.

    J. Crystal Growth 77, 108, 1986

    被引用文献1件

  • <no title>

    田之上

    九州大学機能物質科学研究所報告 9(1), 57, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    COCHRAN W. G.

    Proc. Cambridge Phil Soc. 30, 365, 1934

    被引用文献1件

  • <no title>

    木村

    九州大学修士論文, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    秋山

    化学工学論文集 18(2), 212, 1992

    被引用文献1件

  • <no title>

    化学工学論文集 21(2), 385, 1995

    被引用文献1件

  • <no title>

    化学工学会

    化学工学 60(12), 867, 1996

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002671080
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00223523
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    03862763
  • NDL 記事登録ID
    4324532
  • NDL 雑誌分類
    ZP29(科学技術--化学・化学工業--燃料--石油)
  • NDL 請求記号
    Z17-797
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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