VLSI製造のためのCVD装置設計とシミュレーション

• 佐藤 恒之

• 秋山 泰伸

Bibliographic Information

Other Title

• VLSI セイゾウ ノ タメ ノ CVD ソウチ セッケイ ト シミュレーショ

Abstract

資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト

Journal

• ペトロテック = Petrotech : 石油学会情報誌 / 石油学会 編

  ペトロテック = Petrotech : 石油学会情報誌 / 石油学会 編 20 (10), 829-835, 1997-10

  東京 : 石油学会 ; 1978-

Details

• CRID: 1520009408602656640
• NII Article ID: 10002671080
• NII Book ID: AN00223523
• ISSN: 03862763
• NDL BIB ID: 4324532
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4324532
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZP29(科学技術--化学・化学工業--燃料--石油)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles