放射光5.放射光による加工1.LIGAプロセス(マイクロマシン)

• 高田 博史

書誌事項

タイトル別名

• ホウシャコウ 5.ホウシャコウ ニヨル カコウ 1.LIGA プロセス マイク

収録刊行物

• Radioisotopes / 日本アイソトープ協会radioisotopes編集委員会 編

  Radioisotopes / 日本アイソトープ協会radioisotopes編集委員会 編 47 (9), 721-726, 1998-09

  東京 : 日本アイソトープ協会

詳細情報

• CRID: 1520009410248020352
• NII論文ID: 10002683674
• NII書誌ID: AN00351589
• ISSN: 00338303
• NDL書誌ID: 4571846
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4571846
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles