プラズマCVD半導体プロセスにおける微粒子の発生と測定

• 渡辺 征夫

  九州大学工学部電気工学科教授

書誌事項

タイトル別名

• Generation and Measurements of Particles in Plasma CVD Processes for Semiconductor-Manufacturing

収録刊行物

• エアロゾル研究

  エアロゾル研究 10 (1), 13-19, 1995

  日本エアロゾル学会

キーワード

• Plasma CVD
• Particles
• Silane Plasma
• Laser Scattering
• RF Discharge

詳細情報

• CRID: 1390001204342292224
• NII論文ID: 10002686318
• NII書誌ID: AN10041511
• DOI: 10.11203/jar.10.13
• COI: 1:CAS:528:DyaK2MXlslyht7g%3D
• ISSN: 1881543X
• ISSN: 09122834
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles