半導体製造装置内生成粒子の測定 Measurement of Generated Particles in Semiconductor Manufacturing Apparatus

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著者

    • 近藤 郁 KONDO Kaoru
    • リオン株式会社環測技術部 第一グループ主任 Assistant Manager, RION Co., Ltd. Environmental Engineering Department

収録刊行物

  • エアロゾル研究 = Journal of aerosol research

    エアロゾル研究 = Journal of aerosol research 11(1), 16-21, 1996-03-20

    日本エアロゾル学会

参考文献:  10件中 1-10件 を表示

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    近藤郁

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    白谷正治

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    白谷正治

    第56回応用物理学会秋季学術講演会予稿集 27a-M-9, 1995

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    被引用文献2件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002686870
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10041511
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    09122834
  • データ提供元
    CJP書誌  J-STAGE 
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