プラズマ・イオンを利用した超硬質被膜の合成 Super-Hard Materials Coating by Plasma and Ion Beam Processes

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収録刊行物

  • 全国講演大会講演論文集

    全国講演大会講演論文集 65, 12-18, 1997-06-04

参考文献:  5件中 1-5件 を表示

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    三宅正司

    プラズマ 核融合学会第9回専門講習会「プロセシングプラズマの基礎と応用」テキスト 23p, 1996

    被引用文献2件

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    ZHANG J. Q.

    J, Vac, Sci, Technol. 14, 2163, 1996

    被引用文献5件

  • <no title>

    MIYAKE S.

    Proc. 5th Int. Conf. Plasma Surf. Eng. , PSE'96, (Sept. 1996, Garmisch-Partenkirchen)

    被引用文献1件

  • <no title>

    SUZUKI T.

    Proc, 4th NIRIM Int, Symp, on Advanced Materials, ISAM'97 141, 1997

    被引用文献2件

  • <no title>

    SETSUHARA Y.

    Nucl. Instrum. Methods B127/128, 1997

    被引用文献3件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002688111
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11461805
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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