プラズマ・イオンを利用した超硬質被膜の合成 Super-Hard Materials Coating by Plasma and Ion Beam Processes

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  • 全国講演大会講演論文集  

    全国講演大会講演論文集 65, 12-18, 1997-06-04 

参考文献:  5件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002688111
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11461805
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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