微動ステージに対するコロケーション実現の一方法とその制御特性 A Realizing Method of Collocated Condition for Micro-Moving Stage and Its Control Performance

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収録刊行物

  • 電気学会論文誌. D, 産業応用部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. D, A publication of Industry Applications Society  

    電気学会論文誌. D, 産業応用部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. D, A publication of Industry Applications Society 117(9), 1174-1175, 1997-09 

    The Institute of Electrical Engineers of Japan

参考文献:  4件

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被引用文献:  2件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002725299
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10012320
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    09136339
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  J-STAGE 
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