低温プラズマ発生装置用2MHz, 2kW電圧形インバータ -三次共振回路を用いたスイッチングの高速化- A 2 MHz, 2 kW Voltage-Source Inverter for Low-Temperature Plasma Generators : Implementation of Fast-Switching with a Third-Order Resonant Circuit

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抄録

This paper presents a specially designed third-order resonant circuit intended to achieve fast switching operation for a voltage-source series-resonant inverter using four MOSFETs. The third-order resonant current superimposed on a sinusoidal load current helps to quickly charge or discharge the output capacitance of each MOSFET. This results not only in a reduction of the time required to turn the MOSFET on and off, but also in an improvement of the displacement factor of the inverter. Moreover, the third-order resonant circuit acts as a low-pass filter to eliminate the parasitic oscillation between line inductance and stray capacitance. The viability and effectiveness of the third-order resonant circuit is verified by a 2MHz, 2kW prototype inverter developed for a low-temperature plasma generator.

収録刊行物

  • 電気学会論文誌. D, 産業応用部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. D, A publication of Industry Applications Society  

    電気学会論文誌. D, 産業応用部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. D, A publication of Industry Applications Society 117(10), 1262-1268, 1997-10 

    The Institute of Electrical Engineers of Japan

参考文献:  14件

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被引用文献:  4件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002725453
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10012320
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    09136339
  • NDL 記事登録ID
    4303980
  • NDL 雑誌分類
    ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
  • NDL 請求記号
    Z16-1608
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
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