スパッタ法による表面ナノ構造の作製の試み

• 塚本 新

  日大院

• 永井 浩史

  日大理工

• 中川 活二

  日本理工研先端材料科学センター

• 伊藤 彰義

  日本理工研先端材料科学センター

書誌事項

タイトル別名

• Fabrication of nano-structure at surface by sputtering method

収録刊行物

• 日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan

  日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan 20 82-, 1996-09-01

詳細情報

• CRID: 1572543023955925376
• NII論文ID: 10002728959
• NII書誌ID: AN10269644
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles