プラズマCVD法によるハードディスクDLC保護膜の作製

• 秋山 倫雄

  日本真空技術(株) 超材研

• 楊 一新

  日本真空技術(株) 超材研

• 谷 典明

  日本真空技術(株) 超材研

• 石川 道夫

  日本真空技術(株) 超材研

• 中村 久三

  日本真空技術(株) 超材研

書誌事項

タイトル別名

• Properties of DLC films prepared by PECVD

収録刊行物

• 日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan

  日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan 20 217-, 1996-09-01

詳細情報

• CRID: 1574231873816310016
• NII論文ID: 10002729249
• NII書誌ID: AN10269644
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles