Preparation of Co-Cr films using electron cyclotron resonance microwave plasma : control by magnetic field

• 佐藤, 王高

• 山本, 節夫

• 栗巣, 普揮

• 松浦, 満

• 廣野, 滋

Bibliographic Information

Other Title

• ECRスパッタ法を用いたCo-Cr垂直磁気異方性膜の作成 : 磁界分布による物性制御
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Journal

• 日本応用磁気学会学術講演概要集

  日本応用磁気学会学術講演概要集 20 237-, 1996

  日本応用磁気学会

Details

• CRID: 1050574047086753152
• NII Article ID: 10002729314
• NII Book ID: AN10269644
• Web Site: https://petit.lib.yamaguchi-u.ac.jp/16047
• Text Lang: ja
• Article Type: conference paper
• Data Source:
  • IRDB
  • CiNii Articles