ECRスパッタ法を用いたCo-Cr垂直磁気異方性膜の作成 : 磁界分布による物性制御

• 佐藤, 王高

• 山本, 節夫

• 栗巣, 普揮

• 松浦, 満

• 廣野, 滋

書誌事項

タイトル別名

• Preparation of Co-Cr films using electron cyclotron resonance microwave plasma : control by magnetic field
• ECRスパッタホウ オ モチイタ Co-Cr スイチョク ジキ イホウセイマク ノ サクセイ : ジカイ ブンプ ニヨル ブッセイ セイギョ

収録刊行物

• 日本応用磁気学会学術講演概要集

  日本応用磁気学会学術講演概要集 20 237-, 1996

  日本応用磁気学会

詳細情報

• CRID: 1050574047086753152
• NII論文ID: 10002729314
• NII書誌ID: AN10269644
• Web Site: https://petit.lib.yamaguchi-u.ac.jp/16047
• 本文言語コード: ja
• 資料種別: conference paper
• データソース種別:
  • IRDB
  • CiNii Articles