Co-Kβ X線反射率法によるSV膜層構造解析法に基礎検討

• 平野 辰巳

  日立 日立研

• 宇佐美 勝久

  日立 日立研

• 上田 和浩

  日立 日立研

• 星屋 裕之

  日立 中研

• 今川 尊雄

  ストレージシステム事業部

• 重松 恵嗣

  ストレージシステム事業部

• 成重 真治

  ストレージシステム事業部

書誌事項

タイトル別名

• Layered structure analysis of multilayers by x-ray reflectometry using Co-Kβline

収録刊行物

• 日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan

  日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan 21 167-, 1997-10-01

詳細情報

• CRID: 1573668923862065920
• NII論文ID: 10002730279
• NII書誌ID: AN10269644
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles