RFマグネトロンスパッタ法によるFe-Si-N膜の軟磁気特性 Soft magnetic properties of Fe-Si-N films made by RF magnetron sputtering method

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  • 日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan

    日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan 21, 277, 1997-10-01

参考文献:  5件中 1-5件 を表示

  • <no title>

    大浦

    信学技報 MR91-54, 1, 1991

    被引用文献1件

  • <no title>

    板東

    第19回日本応用磁気学会学術講演概要集 212, 1995

    被引用文献1件

  • <no title>

    中村

    信学技報 MR92-34, 17, 1992

    被引用文献1件

  • <no title>

    高橋

    日本応用磁気学会誌 14, 301, 1990

    被引用文献1件

  • <no title>

    矢野暢芳

    日本応用磁気学会誌 15, 357, 1991

    被引用文献2件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002730550
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10269644
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • データ提供元
    CJP書誌 
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