モンテカルロ法によるCu, Co, Niスパッタ粒子輸送過程の成膜条件依存性 Dependence of the Cu, Co and Ni particle transport on sputter condition by Monte Carlo simulation

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  • 日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan

    日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan 21, 302, 1997-10-01

参考文献:  2件中 1-2件 を表示

  • <no title>

    THOMPSON M. W.

    Philos. Mag. 18, 377-414, 1968

    被引用文献1件

  • <no title>

    MOTOHIRO T.

    Surf. Sci. 134, L494, 1983

    被引用文献9件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002730611
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10269644
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • データ提供元
    CJP書誌 
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