Fe, Co-Cr合金及びNi-Fe合金に対する反応性イオンエッチング

• 中谷 功

  金材技研

書誌事項

タイトル別名

• Reactive-Ion Etching of Fe, Co-Cr Alloy or Ni-Fe Alloy

収録刊行物

• 日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan

  日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan 21 324-, 1997-10-01

詳細情報

• CRID: 1573668923862038912
• NII論文ID: 10002730661
• NII書誌ID: AN10269644
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles