ECR 固体ソースプラズマAl_2O_3膜の絶縁特性

• 山本 英文

  NEC機能エレ研

• 中田 正文

  NEC機能エレ研

書誌事項

タイトル別名

• Resistivities of ECR sputtered Al_2O_3 films

収録刊行物

• 日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan

  日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan 21 411-, 1997-10-01

詳細情報

• CRID: 1571980074001934080
• NII論文ID: 10002730896
• NII書誌ID: AN10269644
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles