X線反射率と蛍光X線測定による金属多層膜構造解析

• 原 嘉昭

  (株)富士通研

• 北出 康博

  (株)富士通研

• 清水 豊

  (株)富士通

• 渦巻 拓也

  (株)富士通研

• 押木 満雅

  (株)富士通研

書誌事項

タイトル別名

• Layered structure analysis of multilayers by use of X-ray reflectometory and X-ray fluorescence analysis

収録刊行物

• 日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan

  日本応用磁気学会学術講演概要集 = Digest of ... annual conference on magnetics in Japan 21 432-, 1997-10-01

詳細情報

• CRID: 1570572699118350336
• NII論文ID: 10002730949
• NII書誌ID: AN10269644
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles