音波浮揚を利用した非接触物質搬送XIII -疑似定在波の節を用いたガラス液晶基板のたわみ矯正-

• 橋本 芳樹

  (株)カイジョー

• 小池 義和

  東京工業大学 精研

• 上羽 貞行

  東京工業大学 精研

書誌事項

タイトル別名

• Noncontact substance transportation using acoustic levitation XIII

収録刊行物

• 日本音響学会研究発表会講演論文集

  日本音響学会研究発表会講演論文集 1996 (2), 1113-1114, 1996-03-01

詳細情報

• CRID: 1572543023955500800
• NII論文ID: 10002739353
• NII書誌ID: AN00351181
• ISSN: 13403168
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles