段付両端自由型捩り水晶振動子を用いた膜厚モニター用センサ

• 川島 宏文

  セイコー電子工業(株)

• 須永 健兒

  セイコー電子工業(株)

書誌事項

タイトル別名

• A Sensor for Thin Film Thickness Monitor Using Torsional Quartz Crystal Resonators of Stepped and Free-Free Bar Type.

収録刊行物

• 日本音響学会研究発表会講演論文集

  日本音響学会研究発表会講演論文集 1996 (2), 875-876, 1996-09-01

詳細情報

• CRID: 1571417124044551936
• NII論文ID: 10002741431
• NII書誌ID: AN00351181
• ISSN: 13403168
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles