高周波数の超音波ワイヤーボンディング用セラミックキャピラリーの振動分布の測定 -複合振動を用いた超音波ワイヤーボンディング(28)- Measurement of Vibration Distribution along Ceramic Capillary Installed in High Frequency Wire Bonding Systems -Studies on Ultrasonic Wire Bonding by a Complex Vibration Welding Tip(Report. 28)-

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収録刊行物

  • 日本音響学会研究発表会講演論文集  

    日本音響学会研究発表会講演論文集 1997(2), 1065-1066, 1997-09-01 

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002745472
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00351181
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • ISSN
    13403168
  • データ提供元
    CJP書誌 
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