摺動面にセラミックスを用いた真空中駆動用超音波モータ

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タイトル別名
  • An ultrasonic motor using SiC as a frition material for vacuum use

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詳細情報

  • CRID
    1570009749161138304
  • NII論文ID
    10002748291
  • NII書誌ID
    AN00351181
  • ISSN
    13403168
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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