摺動面にセラミックスを用いた真空中駆動用超音波モータ
書誌事項
- タイトル別名
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- An ultrasonic motor using SiC as a frition material for vacuum use
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収録刊行物
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- 日本音響学会研究発表会講演論文集
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日本音響学会研究発表会講演論文集 1998 (1), 1127-1128, 1998-03-01
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詳細情報
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- CRID
- 1570009749161138304
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- NII論文ID
- 10002748291
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- NII書誌ID
- AN00351181
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- ISSN
- 13403168
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles