リニア型高速熱処理法による薄膜配向性の制御 Control of oriented thin film by linear rapid thermal annealing

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収録刊行物

  • 日本音響学会研究発表会講演論文集

    日本音響学会研究発表会講演論文集 1998(2), 1203-1204, 1998-09-01

参考文献:  2件中 1-2件 を表示

  • <no title>

    NAKAGAWA Y.

    J. Apll. Phys. 61(11), 5012-5017, 1987

    被引用文献15件

  • <no title>

    PIGNOLET A.

    Thin Solid Films 261, 18, 1994

    被引用文献8件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002749388
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00351181
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • ISSN
    13403168
  • データ提供元
    CJP書誌 
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