ダイヤモンド薄膜上に作製した表面弾性波湿度センサの研究 Surface acoustic wave humidity sensor on diamond thin film

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収録刊行物

  • 日本音響学会研究発表会講演論文集

    日本音響学会研究発表会講演論文集 1999(1), 813-814, 1999-03-01

参考文献:  3件中 1-3件 を表示

  • <no title>

    NAKAHATA H.

    Jpn. J. Appl. Phys 44, 324-327, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    NOMURA T.

    Jpn. J. Appl. Phys 32, 4205-4208, 1993

    DOI 被引用文献1件

  • <no title>

    SATO M.

    Sensors and Materials 3(4), 239-247, 1992

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002751430
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00351181
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • ISSN
    13403168
  • データ提供元
    CJP書誌 
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