ECRアシスト電子ビーム蒸着によるSiO_2膜およびAl_2O_3膜の作成とその音響特性の評価 Measurement of Acoustic Properties of SiO_2 and Al_2O_3 Thin Films Deposited by ECR assisted Electron Beam Evaporation

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収録刊行物

  • 日本音響学会研究発表会講演論文集

    日本音響学会研究発表会講演論文集 1999(1), 835-836, 1999-03-01

参考文献:  5件中 1-5件 を表示

  • <no title>

    NEWELL W. E.

    Proc. IEEE 53, 575, 1965

    被引用文献6件

  • <no title>

    LAKIN K. M.

    Proc. IEEE Ultrasonics Symp. 905

    被引用文献1件

  • <no title>

    NAKAMURA K.

    Proc. 1998 IEEE Int. Freq. Contr. Symp. 876

    被引用文献1件

  • <no title>

    神原

    信学技報 US98-43, 1, 1998

    被引用文献1件

  • <no title>

    神原

    日本音響学会講演論文集 1049

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002751470
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00351181
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • ISSN
    13403168
  • データ提供元
    CJP書誌 
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